Cíle rozprašování molybdenu a molybdenu

- Jan 20, 2025-

Popis produktů

V elektronických komponentách a elektronických produktech se široce používají molybdenu a molybdenu, jako je polovodičová trubice - displej z tekutého krystalu (TFT -LCD), rozprašovací materiály molybdenu a molybdenu - Plazmové zobrazení, plasmové displeje (TFT -LCD) se široce používají molybdenum molybdenu (TFT -LCD). , lze také použít v elektrodě, skleněném povlaku a dalších polích. V posledních letech, s vývojem elektronického průmyslu a solárních článků, množství cílů molybdenu a slitiny molybdenu, protože elektronické materiály s vysokou hodnotou ročně roste. Jako nově vznikající špičkový produkt v průmyslu molybdenu má molybden a molybdenové slitiny rozprašovací cíle vysoký technický obsah, což vyžaduje vysokou čistotu, vysokou relativní hustotu a jemná a jednotná zrna. Film roztrhaný cílem čistého molybdenu má určité problémy s odolností proti korozi (zbarvení) a adhezi (peeling filmu) a přidání některých legovacích prvků v molybdenu může dosáhnout jeho specifické impedance, stresu, odolnosti proti korozi a další vlastnosti k dosažení váhy. Výzkum cíle slitiny molybdenu se proto stal horkým místem. Cíl slitiny titanu molybdenu v procesu výroby integrovaného obvodu, aby se zabránilo difúzi mědi na křemík, cíl čistého wolframu nebo wolframového titanu lze použít k vytvoření reverzní difúzní bariéry. Poměr wolframu je však příliš velký na to, aby splňoval požadavky velké velikosti a lehké TFT-LCD aktivní maticové kapalné krystaly. Titan může poskytnout vynikající adhezi, molybden je prospěšný ke zlepšení stability husté vrstvy bariéry. Film molybdenum titanu má proto vynikající schopnost antidifúzní bariéry a byl široce používán v TET-LCD.